半導体ウェーハパターン検査装置 NGR3520
設計データとSEM画像との比較を行う「Die to Database アルゴリズム」の採用により、先端半導体デバイス製造におけるシステマティックな問題を迅速に解決します。
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2018年11月19日
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2018年10月29日
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