半導体ウェーハパターン検査装置 NGR3520
設計データとSEM画像との比較を行う「Die to Database アルゴリズム」の採用により、先端半導体デバイス製造におけるシステマティックな問題を迅速に解決します。
お知らせ
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2017年06月05日
ニュース
NEW !東レエンジニアリング株式会社による弊社子会社化のお知らせ
- 2016年10月25日 ニュース A-SSCCにサポーター企業として参画
- 2016年08月01日 ニュース ホームページをリニューアルしました
- 2016年03月31日 ニュース SPIE Conferenceでの当社装置関連論文の発表について
- 2016年02月22日 関連論文 The new analysis method of PWQ in the DRAM Pattern
