事業案内
NGRは最先端半導体デバイス製造において歩留り低下の原因となるパターン欠陥の検査および微細寸法の2次元計測を高感度で実現する電子ビーム方式ウエーハ検査装置の開発・製造・販売・サービスを行っている会社です。
経営理念
NGRは独自のコンセプトに基づいた半導体検査装置を創造することを目的として2000年7月に創立しました。
半導体デバイスは近年微細化が進み、デザインノードが10nm以下の領域にまで達しております。同時に高密度化を目指して3次元構造のデバイス製造が量産段階に入っています。
これらのデバイスの高密度化、3次元化に伴い、歩留り管理に必要とされる検査・計測技術への要求が厳しくなっています。
NGRは設計データとSEM画像との比較を行うDie to Databaseアルゴリズムをベースとしたウエーハ検査装置を世界に先駆けて市場投入し、多点計測による半導体歩留り管理の新手法を提案してきました。NGRは半導体デバイスの進展に伴う検査・計測の御要求に応えるべく、製品開発を続けて行きます。
