代表挨拶

　株式会社NGRは2000年7月に「Die to Databaseアルゴリズム」をベースとしたOPC検証装置を創出することを目的として創業致しました。

　ハードウエアとして電子顕微鏡を用いた先進技術の集合体である弊社の半導体ウエーハパターン形状検査装置は、その後、OPC検証に留まらず、微細欠陥検出、多点CD計測、インチップ重ね合わせ計測等の多様なアプリケーションを生み出し、最先端の半導体検査・計測分野において重要な位置を占めるようになってまいりました。

　一方、半導体デバイスは近年、更なる微細化が進行しつつあり、同時に、3Dメモリー、FinFETに代表される3D構造への構造変化が起きております。これら半導体デバイスの進展に伴い、検査・計測装置への要求は厳しさを増しております。

　弊社は2017年6月に東レグループ企業の一員となりました。より強化された開発力・製造力を生かし、最先端半導体デバイス検査・計測装置への高いご要求にお応えすべく、今後も引き続き、半導体デバイスメーカ各社の歩留り向上のお役に立てる装置開発・製造に邁進してまいります。